普洛帝PMT-2電子級(jí)超純水顆粒管控解決方案

什么是超純水？

超純水是指電阻率達(dá)到18MΩ^*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

什么是電子級(jí)超純水？

集成電路的生產(chǎn)，幾乎每道工序都需要超純水進(jìn)行清洗，工件與水直接接觸，而一方面芯片在加工過(guò)程中的微量玷污得到清洗，而另一方面純水中的微量雜質(zhì)又可能使芯片再污染，無(wú)疑對(duì)產(chǎn)品有著極大的影響。隨著集成電路程度的進(jìn)一步提高，對(duì)水中污染物要求亦將更為嚴(yán)格，從六十年代末期，美國(guó)五家公司提出的集成電路用純水的水質(zhì)指標(biāo)以來(lái)，集成電路每前進(jìn)一代，雜質(zhì)都要減少1/2-1/10。美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)學(xué)會(huì)（ASTM）1983、1990年頒發(fā)的電子級(jí)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，已不能適應(yīng)超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴(yán)格的水質(zhì)指標(biāo)。

電子級(jí)超純水的顆粒管控解決新方案

電子級(jí)超純水的要求，就需要一款具備顆粒管控功能的儀器對(duì)超純水的水質(zhì)進(jìn)行管控。對(duì)電子級(jí)超純水里粒子的大小和數(shù)量的多少進(jìn)行監(jiān)控，進(jìn)而判定電子級(jí)超純水的級(jí)別和潔凈度。普洛帝自主研發(fā)生產(chǎn)的PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器，集成款專門是針對(duì)電子級(jí)超純水顆粒進(jìn)行管控的儀器。儀器主機(jī)將取樣系統(tǒng)、檢測(cè)系統(tǒng)和顯示操作系統(tǒng)集成到一體，一臺(tái)儀器就可以完成實(shí)時(shí)、在線、不間斷的顆粒監(jiān)測(cè)。是超純水制備集成商，超純水應(yīng)用商，超純水清洗產(chǎn)線的顆粒監(jiān)控儀器。

PMT-2，液體顆粒計(jì)數(shù)器，采用英國(guó)普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可以對(duì)清洗劑、半導(dǎo)體、超純水、電子產(chǎn)品、平板玻璃、硅晶片等產(chǎn)品的在線或離線顆粒監(jiān)測(cè)和分析，目前是英國(guó)普洛帝分析測(cè)試集團(tuán)向水質(zhì)領(lǐng)域及微納米檢測(cè)領(lǐng)域的重要產(chǎn)品。